AL 18

典型应用:

等离子清洗,适合于小体积产品,小批量生产和实验室使用

• 改善Die Bonding
• 改善Wire Bonding
• 改善锡球焊接
• 改善倒装底部填充(FC Underfill)
• 改善塑封(Molding)/封胶

  • 商品介绍
  • 规格参数
  • 技术规格:

    •等离子源:2.45Ghz微波等离子源,600W
    •腔体    :铝.长250mm,宽250mm,深290mm,18L
    •外观尺寸:长530mm,宽600mm,高550mm
    •处理气体:1路气体+数字MKS流量控制器
    •真空腔门:铰链门+观察窗
    •观察窗  UV与微波屏蔽保护
    •GUI 7"触摸屏,Window CE操作系统

    选项:
    •进口干泵系统(含相关附件)
    信号灯塔-红黄绿三色
    •额外的处理气体线路-最多至4路气体
    •旋转台-φ200mm,旋转速度可调
    •ECR机构
    •包装,运输