ASTRO 96

典型应用:

内部采用机器人,全自动料条进料微波等离子清洗,适合半导体封装工厂大批量生产。

• 改善Die Bonding
• 改善Wire Bonding
• 改善锡球焊接
• 改善倒装底部填充(FC Underfill)
• 改善塑封(Molding)/封胶

  • 商品介绍
  • 规格参数
  • 技术规格:

    •等离子源:2.45Ghz微波等离子源,2*600W
    •腔体    :铝.长300mm,宽420,高120mm
    •外观尺寸:长1680mm,宽1750mm,高1400mm
    •处理气体:3路气体+数字MKS流量控制器
    •真空腔门:铰链门/抽屉式双功能+观察窗
    •观察窗  :UV与微波屏蔽保护
    •GUI 10.4"触摸屏,Window CE操作系统

    选项:
    •进口干泵系统(含相关附件)
    信号灯塔-红黄绿三色
    •额外的处理气体线路-最多至4路气体
    •包装,运输