AL 76 Compact

典型应用:

等离子清洗中的全能型产品,可满足大多数应用。适合大批量生产和实验室使用。

• 改善Die Bonding
• 改善Wire Bonding
• 改善锡球焊接
• 改善倒装底部填充(FC Underfill)
• 改善塑封(Molding)/封胶

  • 商品介绍
  • 规格参数
  • 技术规格:

    •等离子源:2.45Ghz微波等离子源,1200W
    •腔体    :铝.长400mm,宽400mm,深490mm,76L
    •外观尺寸:长1050mm,宽800mm,高2020mm(含信号灯塔)
    •处理气体:3路气体+数字MKS流量控制器
    •真空腔门:铰链门/抽屉式双功能+观察窗
    •观察窗  :UV与微波屏蔽保护
    •GUI 10.4"触摸屏,Window CE操作系统

    选项:
    •进口干泵系统(含相关附件)
    信号灯塔-红黄绿三色
    •额外的处理气体线路-最多至4路气体
    •旋转台-φ350mm,旋转速度可调
    •ECR机构
    •包装,运输