AL 76

典型应用:

适合工业生产用,等离子清洗在工业生产中主要用于材料的表面活化、清洗、喷附等工艺处理。

• 医疗
• 显示平板
• 新能源电池
• 汽车制造
• 太阳能电池

• 橡胶/塑料/金属表面预处理


  • 商品介绍
  • 规格参数
  • 技术规格:

    •等离子源:2.45Ghz微波等离子源,1200W
    •腔体    :铝.长400mm,宽400mm
    ,深490mm,76L

    •外观尺寸:长780mm,宽770mm,高780mm(含信号灯塔)
    •处理气体:3路气体+数字MKS流量控制器
    •真空腔门:铰链门/抽屉式双功能+观察窗
    •观察窗  :UV与微波屏蔽保护
    •GUI 10.4"触摸屏,Window CE操作系统

    选项:
    •进口干泵系统(含相关附件)
    信号灯塔-红黄绿三色
    •额外的处理气体线路-最多至4路气体
    •旋转台-φ350mm,旋转速度可调
    •ECR机构
    •包装,运输